3月17日上午，SEMICON China 2015大會(huì)“IC設(shè)計(jì)、制造及應(yīng)用專區(qū)”展覽會(huì)在上海新國(guó)際博覽中心舉行，中科院光電所微電子專用設(shè)備總體研究室趙立新副主任帶領(lǐng)由光電所自主研發(fā)的URE2000系列光刻機(jī)產(chǎn)品和部分微納光學(xué)器件樣品參加了此次盛會(huì)。 

　　在中科院光電所的展位上，不少國(guó)際友人以及國(guó)內(nèi)專業(yè)人士前來咨詢、洽談業(yè)務(wù)，還有很多投資公司前來商討合作事項(xiàng)。通過SEMICON China2015展覽會(huì)，既能及時(shí)跟進(jìn)半導(dǎo)體行業(yè)的需求，同時(shí)也向國(guó)內(nèi)外宣傳了光刻機(jī)研發(fā)的光刻機(jī)產(chǎn)品，更為可貴的是，會(huì)展期間已經(jīng)有不少潛在客戶簽訂了購買意向書。 

　　SEMICON China大會(huì)由國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會(huì)SEMI及中國(guó)電子商會(huì)CECC共同主辦。自1988年首次在上海舉辦以來，已成為中國(guó)首要的半導(dǎo)體行業(yè)盛事之一，囊括當(dāng)今世界上半導(dǎo)體制造領(lǐng)域主要的設(shè)備及材料廠商。SEMICON China見證了中國(guó)半導(dǎo)體制造業(yè)茁壯成長(zhǎng)以及加速發(fā)展的歷史，為中國(guó)半導(dǎo)體制造業(yè)未來的強(qiáng)盛壯大作出了貢獻(xiàn)。 

　　中科院光電所微電子專用裝備是中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所的重點(diǎn)學(xué)科之一，三十多年從事微電子專用設(shè)備的攻關(guān)與研制，先后獲得國(guó)家重大技術(shù)裝備成果一等獎(jiǎng)1項(xiàng)，國(guó)家科技進(jìn)步獎(jiǎng)三等獎(jiǎng)2項(xiàng)；中國(guó)科學(xué)院重大科技成果一等獎(jiǎng)1項(xiàng)；中國(guó)科學(xué)院科技進(jìn)步獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)4項(xiàng)、二等獎(jiǎng)1項(xiàng)、三等獎(jiǎng)1項(xiàng)；中科院自然科學(xué)獎(jiǎng)三等獎(jiǎng)1項(xiàng)；四川省科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)1項(xiàng)等；各種國(guó)家及省部級(jí)獎(jiǎng)勵(lì)共計(jì)20余項(xiàng)。近年來，在國(guó)家02重大專項(xiàng)的支持下，就高端光刻裝備關(guān)鍵技術(shù)及整機(jī)集成開展了大量研究。目前，中科院光電所自主研發(fā)的光刻機(jī)產(chǎn)品主要有五類：URE-2000系列單面光刻機(jī)、URE-2000S系列雙面光刻機(jī)、URE-2000D系列大面積光刻機(jī)、DS-2000系列數(shù)字無掩模光刻機(jī)以及TYG-2000系列投影光刻機(jī)。迄今為止，由光電所研發(fā)的光刻機(jī)產(chǎn)品已經(jīng)銷售有400余臺(tái)，部分產(chǎn)品已遠(yuǎn)銷美國(guó)、新加坡、越南、朝鮮等國(guó)家，在國(guó)內(nèi)外微細(xì)加工領(lǐng)域受到用戶一致的好評(píng)。通過多年光刻設(shè)備的研發(fā)，建立了較為完善的技術(shù)研發(fā)平臺(tái)及研發(fā)團(tuán)隊(duì)，積累了豐富的整機(jī)集成經(jīng)驗(yàn)。中科院光電所微電子專用設(shè)備總體研究室在國(guó)家重大專項(xiàng)“沿途下蛋”理念的指導(dǎo)下，不斷進(jìn)取，取得了豐富的成果。近期開發(fā)成功的TYG-2000系列投影光刻機(jī)就是在國(guó)家重大專項(xiàng)支持下所下的一個(gè)“金蛋”。